0.1 hPa 高真空壓力下的氦氣流量

8 hPa·l/s

0.1 hPa 高真空壓力下的氬氣流量

11 hPa·l/s

0.1 hPa 高真空壓力下的氮?dú)饬髁?/span>

10 hPa·l/s

I/O 接口

RS-485, 遠(yuǎn)程

低振蕩

是

允許的最高徑向磁場(chǎng)

5 mT

冷卻方法，可選

空氣（強(qiáng)制對(duì)流）

冷卻水流量

80 l/h

冷卻水溫度

15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K

冷卻類型

水

啟動(dòng)時(shí)間

2 min

聲壓水平

≤45 dB(A)

安裝方向

隨意

放氣接口

G 1/8"

整體泄漏率

< 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s

最大耗電量

300 W

最終壓力

< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar

最終轉(zhuǎn)速下的氮?dú)饬髁?/span>

28 hPa·l/s

氫氣抽氣速度

170 l/s

氫氣的壓縮比

5 · 105

氦氣的抽氣速率

215 l/s

氬氣在最終轉(zhuǎn)速下的氣流量

13 hPa·l/s

氬氣抽氣速率

250 l/s

氬氣的壓縮比

> 1 · 1011

氮?dú)獾膲嚎s比

> 1 · 1011

用于氮?dú)獾某闅馑俣?/span>

255 l/s

電子驅(qū)動(dòng)單元

TM 700

電子驅(qū)動(dòng)單元安裝類型

集成電子驅(qū)動(dòng)單元

電流最大值

7.5 A

電源包的位置

外部電源包

轉(zhuǎn)速 ± 2 %

60,000 rpm | 60,000 min-1

轉(zhuǎn)速可變化

20 – 100 %

軸承

磁鐵

輸入電壓

48 V DC (±10 %)  

連接法蘭（入口）

DN 100 ISO-K

連接法蘭（出口）

DN 16 ISO-KF

適用于氮?dú)獾那凹?jí)真空最大值

20 hPa | 15 Torr | 20 mbar

重量

13.1 kg | 28.88 lb

防護(hù)等級(jí)

IP54