| 品牌 | 科冪儀器 | 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃/min/min |
|---|---|---|---|
| 內部尺寸 | Ф30/50/60/1200mmmm | 加熱方式 | K型熱電偶,集成式觸摸屏控制 |
| 最大功率 | 3000kW | 控溫精度 | ±1℃℃ |
| 最高溫度 | 1100℃ | 價格區間 | 面議 |
| 儀器種類 | 管式爐 | 產地類別 | 國產 |
| 應用領域 | 化工,電子/電池 |
廣州金程科學儀器公司供應科冪TFE等離子化學氣相沉積單溫區PE-CVD系統TFE-1200-50-I-220。高性能射頻電源，等離子體更穩定。滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區，并可實現快速升溫和降溫功能。TFE等離子化學氣相沉積單溫區PE-CVD管式爐
等離子化學氣相沉積單溫區PE-CVD系統特點：
高性能射頻電源，等離子體更穩定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區，并可實現快速升溫和降溫功能；
與傳統CVD相比較，生長溫度更低
等離子化學氣相沉積單溫區PE-CVD系統參數：
型號： | TFE-1200-50-I-220 |
爐管尺寸： | Ф30/50/60/1200mm |
腔膛尺寸： | Ф80*220mm |
最高溫度： | 1150℃(短期) |
工作溫度： | 1100℃ |
升溫速率： | ≤10℃/min |
控溫精度： | ±1℃ |
加熱區長度： | 220mm |
恒溫區長度： | 80mm |
加熱原件： | 優質電阻絲 |
額定功率： | 3kW |
供氣系統： | 三路高精度MFC量程0~500sccm（可定制） |
溫控系統： | K型熱電偶，集成式觸摸屏控制 |
射頻電源： | 射頻功率：5~500W； 射頻頻：13.56MHz； 匹配方式：自動匹配 |
真空系統： | 雙極旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） |
外形尺寸： | 1250*510*810mm |
等離子化學氣相沉積單溫區PE-CVD系統TFE-1200-50-I-220信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。TFE等離子化學氣相沉積單溫區PE-CVD管式爐
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